陛通半導(dǎo)體設(shè)備（蘇州）有限公司為上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份公司（以下簡稱：陛通股份或股份公司）設(shè)立控股合資子公司太倉陛通入駐蘇州太倉中德創(chuàng)新園航空產(chǎn)業(yè)園開發(fā)區(qū)，打造12吋納米級等離子化學(xué)氣相沉積PECVD先進(jìn)工藝及裝備和8吋微米級反應(yīng)離子物理濺射沉積 RiD 先進(jìn)工藝及裝備研發(fā)和制造基地。
主要從事研發(fā)制造具有自主知識產(chǎn)權(quán)的半導(dǎo)體高端裝備 12 英寸等離子化學(xué)氣相沉積薄膜整機設(shè)備、8 英寸反應(yīng)離子物理濺射薄膜 RiD 整機設(shè)備、8 英寸通用型磁控濺射薄膜整機設(shè)備，以及進(jìn)口 12 英寸、8 英寸半導(dǎo)體設(shè)備再制造和半導(dǎo)體相關(guān)精密制造專用自動化裝備為主體的高科技公司。
公司研發(fā)部現(xiàn)在有 5 位博士、8 位碩士、10 位高級工程師及高級工藝師等專業(yè)研發(fā)設(shè)計人員和軟件開發(fā)人員 30 余人。近年來一共取得含有發(fā)明專利、實用新型專利、軟件著作權(quán)等自主知識產(chǎn)權(quán) 102 項。
公司研發(fā)中心由多位特聘專家和在半導(dǎo)體設(shè)備研制和工藝研發(fā)領(lǐng)域有著多年研發(fā)經(jīng)驗的資深研發(fā)人員組成，包括國家級千人、浦東百人專家、博士、碩士等高技術(shù)人才。公司已先后榮獲“高新技術(shù)企業(yè)”、“科技小巨人培育企業(yè)”、“浦東研發(fā)機構(gòu)”等各項榮譽稱號，并獲得國內(nèi)外專利共111項。陛通半導(dǎo)體公司目前已經(jīng)成為國內(nèi)領(lǐng)先的專業(yè)研制集成電路薄膜沉積工藝設(shè)備——物理氣相沉積設(shè)備和化學(xué)氣相沉積設(shè)備的研發(fā)制造企業(yè)，正在為自主研發(fā)薄膜沉積設(shè)備早日實現(xiàn)國產(chǎn)超越而努力奮斗。